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【第一參賽人/留學人員】王士京

【留學國家】日本

【技術領域】高端裝備與新能源汽車

【參賽屆次】第10屆

【所獲獎項】二等獎

【項目簡介】
光刻膠灰化是芯片加工中一個重要的步驟,從成熟工藝到先進工藝都離不開有機物掩膜的灰化(比如光刻膠灰化)這道工藝,此外隨著制造工藝技術節點的不斷推進,在灰化的同時,對離子轟擊導致的表面損傷要求越來越高。目前國內外加工廠所用主流的灰化刻蝕設備有Mattson,PSK,Lam等。前述幾個公司的關鍵技術主要掌握在國外團隊手中,零部件國產化率低。本項目產品是全新的12寸灰化蝕刻機,新型反應機理,在完全去除有機物掩膜的同時,最大程度地減少底層材料表面狀態的損傷,實現超低損傷的蝕刻性能。目前項目產品300A/300E在成熟和先進節點得到了廣泛應用。 【展開】 【收起】
【成立時間】2020年08月01日
【行業領域】零售業
【注冊資本】1000萬元
【企業法人】王兆祥
【官方網站】https://www.bxsemi.com/
【公司地址】中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區洲德路1588號2幢2座
【企業簡介】
??諳邦半導體是?上海邦芯半導體科技有限公司的臨港落地項目公司,是邦芯的全資子公司。?諳邦半導體專注于真空等離子體技術的半導體設備研發,主要研發項目包括?化合半導體和硅基芯片加工設備,如化合物半導體刻蝕機、化合物芯片介質刻蝕機等,致力于解決國內半導體產業鏈中的“卡脖子”問題,實現國產化替代。諳邦半導體已成功應用于?中芯國際、?積塔半導體、?鼎泰匠芯等高制程芯片企業,并帶動上下游企業協同發展。此外,諳邦半導體在初創期獲得了?上海銀行的金融支持,成功晉級?X·TIME2024國際創業大賽復賽,并被評為上海市高新技術企業、?專精特新企業。? 【展開】 【收起】
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